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微电子其实是一个挺大的话题,下面包含了很多的子话题,比如电路设计,比如器件,比如工艺。
工艺里常说的就是刻蚀沉积掺杂那些东西,而这些东西又和MEMS(微机电系统)的制作生产息息相关(比如最常见的在硅基底上刻蚀个悬臂结构什么的)。微流控算是MEMS的一个很常见的研究方向(按照之前的例子等量代换一下, 在不同材质基底上,通过刻蚀等种种微制造方法,制成微型通道以及相关机械结构/电极) 做生物医药检测传感的玩的比较多。
所以要说和微电子的关系么,总结一下就是:
微电子大话题-->子话题工艺-->子话题MEMS-->微流控 |
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