TOF-SIMS飞行时间质谱仪飞行时间二次离子质谱仪,Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry ,简称TOF-SIMS。TOF-SIMS在有机材料表面分析,如生物药品结构分析、半导体材料表面污染物分析、电池材料分析、未知有机分子碎片鉴定、掺杂和杂质污染等技术应用较为前沿。TOF-SIMS可对H-U元素进行定性分(定量需标样),检测极限可达ppm或更低的浓度;检测样品的深度分辨率0.1~1 nm,溅射速率很慢一般小于1μm/H,有机材料表征而言,可实现表面元素分布成像,分辨率为5~10nm。