匀胶机旋涂如何改善旋转涂层?

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匀胶机旋涂如何改善旋转涂层?

正确居中的基材

准确地将基材放在吸盘中心，以实现涂布一致性减少旋涂过程中的边缘堆积。 偏心的基材会引起振动和应力，至少会影响您的涂层质量，最坏的情况会导至基材破碎和旋涂机损坏。

静态分配

大多数人采用静态分配方法进行旋涂。这是旋涂最简单方法，需要您将化学物质分配到固定的基材上。

分配化学物质

使用移液器或注射器将化学物质分配到基材的中心。通常应分配材料盖基材直径的50%，多余的材料被清除经过速度和加速度实现旋涂后.当材料到达基板的边缘时，进步的加速步骤将从晶四上浇铸多余的材料。

加速至最终旋转速度

最后一步需要您的旋涂机快速加速到最终旋涂速度，以形成正确厚度的涂层。

去除边珠

旋涂工艺可能会在基材边缘留下材料堆积。最好在您的旋涂机中，在涂覆过程结束后立即去除晶圆上的边缘珠。涂层固化后，将溶剂流引导至基材边缘，同时低速旋转。晶片继续旋转，这使所有残留的溶剂干燥。

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